KS-FT200/300系列堆疊式高產(chǎn)能前道涂膠顯影機(jī)，為我司自主研發(fā)的突破晶圓前道28nm工藝節(jié)點(diǎn)及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機(jī)臺(tái)。支持與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)。該系列機(jī)臺(tái)通過(guò)各種行業(yè)認(rèn)證，占地面積小、可靠性高、易于維護(hù)，滿足各種功能芯片制程需求。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1. 堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu)，占地面積小
2. 可與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)，滿足工廠自動(dòng)化需求
3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng)，有效節(jié)省光刻膠的用量
4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標(biāo)準(zhǔn)工藝需求
5. 核心單元模塊化設(shè)計(jì)，組合方式靈活多變，限度客制化

應(yīng)用領(lǐng)域：

● 邏輯電路
● CMOS射頻電路
● 功率器件
● MEMS系統(tǒng)級(jí)芯片
● 閃存內(nèi)存
● CIS
● 驅(qū)動(dòng)芯片
● OLED等

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