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行業(yè)產(chǎn)品

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芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


全自動顯影機

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更新時間：2023-03-24 09:33:32瀏覽次數(shù)：597次

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商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

2C全自動顯影機 XMCA-800A

詳細介紹

  • 基片尺寸
    ψ50mm～ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4個晶舟
  • Coater Unit 涂膠單元
    1、PR類型：正膠/ 負膠 ；2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、馬達旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 機械手臂
    3軸; X1, X2, X3
  • Hot Plate熱盤單元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盤單元
    溫度18-28℃
  • 顯影機基片尺寸
    ψ50mm～ψ300mm
  • Developer 顯影單元
    1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ；2、馬達旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm
  • 顯影機臺尺寸
    D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)

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