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半自動(dòng)CCD檢查5K曝光機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)UVE-HS5KMC

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廠商性質(zhì)其他

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廣東海圣科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳細(xì)介紹詳細(xì)參數(shù)內(nèi)容規(guī)格A.一般規(guī)格電力系統(tǒng)AC380V350HZ曝光系統(tǒng)光源：氣冷式金屬鹵素?zé)?2

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)介紹
詳細(xì)參數(shù)

內(nèi)容	規(guī)格
A.一般規(guī)格
電力系統(tǒng)		AC380V3φ50HZ
曝光系統(tǒng)	光源：氣冷式金屬鹵素?zé)?2，5kW
	均勻度：≥80%以上
	強(qiáng)度：40mw/cm²（臺(tái)面） Puck(EIT)量測(cè)
	有效曝光面積：22''25''底片尺寸：24''27'
Panel規(guī)格	尺寸：12''12''至22''25'
	厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm
曝光作業(yè)	雙面同時(shí)曝光
底片對(duì)位系統(tǒng)	1.CCD數(shù)量：2個(gè)/4個(gè)可選
	2.CCD功能：對(duì)位準(zhǔn)度及底片漲縮檢查
	3.對(duì)位形式：手調(diào)對(duì)位
	4.底片固定：雙溝槽式真空吸附，真空度-650mmHg以上
	5.靶標(biāo)形式：上底片圓點(diǎn)，下底片圓環(huán)
	6.對(duì)準(zhǔn)精度：±12.5μm
操作方式	作業(yè)方式：人工取放板，CCD檢查靶標(biāo)對(duì)準(zhǔn)誤差
機(jī)臺(tái)尺寸	外部尺寸：3270L1640W1800H+120mm


B.系統(tǒng)架構(gòu)
曝光臺(tái)框	雙曝光臺(tái)面，玻璃VS玻璃


曝光控制器	智慧型人機(jī)介面及曝光能量控制
臺(tái)面真空	-180mmHg~-500mmHg
冷卻	燈室：強(qiáng)制氣冷式
	曝光室：強(qiáng)制氣冷式，抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室
潔凈控制	潔凈度等級(jí)：Class 10000 HEPA過(guò)濾網(wǎng)

客戶提供環(huán)境及周邊設(shè)備


	（1）.室溫21℃±2℃，濕度55%±5%之清潔環(huán)境
	（2）.冰水系統(tǒng)：5噸、流量60L/min、進(jìn)水溫度7~11℃（依現(xiàn)場(chǎng)配管計(jì)算）進(jìn)出水管徑1-1/4''、排水管徑/4''
	(3).外接氣源：5Kgf/cm²（流量40~80L/min）管徑1/4''PT快速接頭
	（4）.時(shí)規(guī)皮帶加裝保護(hù)外蓋
	（5）.玻璃大對(duì)小正壓設(shè)計(jì)
	（6）.伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)臺(tái)框