產(chǎn)品展示
GDR-60G等離子去光阻機
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報警燈)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 合金鋁真空倉體(約100升)
450(W)×450(D)×450(H)mm
◆ 電極結(jié)構(gòu)
外置電感耦合電極
◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)
PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)
日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)
中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器
◆ 充氣系統(tǒng)
美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(四路氣體配制)
美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
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商鋪:http://www.zzbfp.com/st26805/
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