Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)

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更新時間：2023-05-07 11:16:12瀏覽次數(shù)：343次

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蘇州震拓自動化設備有限公司

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商鋪產(chǎn)品：22條

所在地區(qū)：

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產(chǎn)品簡介

類型：無菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號：APR 4300描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細介紹

Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應用:
用于無菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運輸箱 (FOUP)，并在等待時間內(nèi)保護它們。

可靠的凈化處理和預防污染
APR 是一個在等待時間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)?？諝夥肿游廴疚铮ê喎Q AMC）降低了半導體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機或無機分子。通過在 APR 室里進行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量，且各個工藝步驟之間的等待時間也會得到優(yōu)化。

APR 是如何工作的？
FOUP 既可以手動傳送，也可通過 2 個裝載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個帶有四疊真空室的系統(tǒng)，用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項工作由一個可靠的機器人來擔任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨地進行操作。當把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮氣進行吹掃并恢復到大氣壓。此時，這些晶圓以及運輸箱不受污染已超過一天。

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