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無油螺桿真空泵是利用一對螺桿，在主機腔體中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在腔體中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此真空泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，無油螺桿真空泵能抽除含有水蒸汽及粉塵等固體顆粒的氣體場合，極限真空高，消耗功率更低，具有節(jié)能、維修便捷等優(yōu)點。
目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，大量的有油真空系統(tǒng)已被清潔無油的真空系統(tǒng)所代替。各品牌真空設(shè)備廠家都已研發(fā)出各種不同型式的無油真空泵產(chǎn)品。
無油螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應(yīng)用，并逐漸經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)*真空獲得設(shè)備。日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的引入生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。但到目前為止，螺桿真空泵的市場仍舊為國外品牌所占據(jù)。
無油螺桿真空泵的應(yīng)用是廣泛的，如：
1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
2、半導(dǎo)體刻蝕、CVD、PVD工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外。
4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用無油真空泵。
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
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