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索尼的柔性電子紙利用印刷技術(shù)制作TFT
2012-07-13 10:53:54日經(jīng)BP社閱讀量:891 我要評(píng)論
有機(jī)TFT的半導(dǎo)體層采用被稱為“PXX衍生物”(peri-Xanthenoxanthene)的自主開(kāi)發(fā)的有機(jī)材料。載流子遷移率約為0.5cm2/Vs。
開(kāi)發(fā)品的特點(diǎn)是其中的有機(jī)TFT是利用印刷技術(shù)制作的。對(duì)每層有機(jī)TFT,分別使用了平板膠印、旋涂及狹縫涂布3種印刷技術(shù)。僅用平板膠印法形成的是表面保護(hù)膜。像素電極在以濺射法成膜后,又用平面膠印形成了感光性樹(shù)脂。有機(jī)半導(dǎo)體層用狹縫涂布法、柵極絕緣膜和層間絕緣膜用旋涂法成膜后,再利用普通光刻法形成圖案。
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